半導体工場、製薬工場、食品工場において、一定空間の清浄度を保つ為に使用される機器です。
NFUZD-10H
使用例(クリーンブース)
FFUとは室内の天井に設置し、清浄空気を吹き出してクリーンな環境を作る装置です。
型番 | 処理風量(m³/min) | 外形寸法(mm) |
---|---|---|
NFUZD-01H | 1.6 | W250×D250×H115 |
NFUZD-03H | 3.4 | W350×D350×H122 |
NFUZD-06H | 6.1 | W500×D500×H145 |
NFUZD-10H | 10.8 | W610×D610×H145 |
NFUZD-15H | 15.0 | W915×D610×H152 |
NFUZD-20H | 24.3 | W1220×D610×H145 |
プレフィルター:不織布、メインフィルター:HEPA(ULPAにも変更が可能です)
本体:ステンレス仕様
ファン:DC静音ブロア(NFUZD-01HのみDC軸流ファン
99.97%以上(0.3µm以上の粒子にて)
AC100~240V(50/60Hz)
パネル式タイプ、エアシャワー、バスボックス付きタイプなどの対応もできます。
NCRZD-2020H-7
簡易クリーンブースとは、局所作業環境の清浄化を目的に開発された一方向流のクリーンユニット(簡易型クリーンルーム)のことです。
型番 | 外形寸法(mm) |
---|---|
NCRZD-1005H-7 | W1000×D500×H500 |
NCRZD-1515H-7 | W1500×D1500×H2000 |
NCRZD-2020H-7 | W2000×D2000×H2000 |
NCRZD-2525H-7 | W2500×D2500×H2000 |
フレーム:アルミフレーム
シート:静電気防止シート(ボックスタイプ、色透明、厚さ0.3mm)
スイッチボックス:コード5m(アース付)
ISO14644:7、Fed.std.209E:10000
AC100~240V(50/60Hz)
NSZD-SS08
簡易クリーンブースへの取付が可能で、ユーザー様自身での組立が可能です。
型番/NSZD-SS08
外形寸法/W1060×D1000×H2058(mm)
質量/200kg 電源/AC100V(50/60Hz)
処理風量/7m³/min(片吹き)
吹出風速/18m/s以上
その他/アルミ製ハンガーノズル×8、押しボタンスイッチ
※通常型エアシャワー(NSZD-GT26/GS26(両吹き)、NSZD-PT16/PS16(片吹き)もございます)
NPBZD-444
クリーンルーム(ブース)への物品受渡し専用装置です。
型番 | 外形寸法(mm) | 庫内寸法(mm) | 扉ロック | その他 |
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NPBZD-444 | W560×D400×H480 | W400×D400×H400 | 機械式 | オールステンレスタイプ(NPBZD-444S)もございます |
NPBZD-765-J | W860×D630×H1000 | W700×D550×H600 | 電磁式 | エアシャワー(風速16m/s、3面吹出)タイプです。 |
FAZD-CA3
外部エアをブロアで吸入し、HEPAフィルターを通してクリーンエアを供給します。
型番/FAZD-CA3
外形寸法/W300×D440×H395(mm)
電源/AC100~240V(50/60Hz)
処理風量・風速/3.6m³/min、13m/s
クリーンベンチ、機械装置(半導体検査装置、洗浄装置)生産工程内のワーク内に接続
FAZD-Z01
FAZD-X01
(上から)プレフィルター、準HEPAフィルター、活性炭フィルター
3層フィルター構造で、煙に含まれる有害成分を確実に除去します。
型番 | タイプ | 処理風量(m³/min) | 外形寸法(mm) |
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FAZD-Z01(-200) | 縦置き | 3.5 | W350×D300×H470 |
FAZD-Y01(-200) | 横置き | 3.5 | W450×D300×H400 |
FAZD-X01(-200) | 縦置き | 5.7 | W350×D400×H665 |
電源/AC100V・AC200V(50/60Hz)
ダクト径/⌀75用
1. 硬質ダクト(2m) 2. ダクトバンド 3. 吸引フード 4. フットスイッチ 5. 速度制御 6. 差圧計 7. 分岐用天板 8. 排気用ダクト口⌀100(横置きのみ) 9. 外部操作用端子 10. 差圧信号 11. ファン異常検知
ハンダ付作業、レーザーマーカー
その他一般集煙
FBZD-C03
クリーンルーム内での集塵、集煙にご利用いただけます。
型番 | 処理風量(m³/min) | 外形寸法(mm) |
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FBZD-C03 | 4.5 | W350×D435×H411 |
FBZD-C06 | 6.0 | W350×D535×H611 |
構成/プレフィルター→中性能フィルター→DC静音ブロア→HEPAフィルター
電源/AC100V~AC200V(50/60Hz)
ダクト径/⌀75用
オプション/上記ヒューム吸煙装置と同様です。
環境装置の総合メーカーとして各種OEM製品の受託製造、専用機の研究開発に対応します。