製品情報
クリーン機器

半導体工場、製薬工場、食品工場において、一定空間の清浄度を保つ為に使用される機器です。

「Atomicアトミック」シリーズのクリーン機器・集塵機。半導体工場、製薬工場、食品工場において、一定空間の清浄度を保つ為に使用される機器です。

クリーン機器

ファンフィルターユニット(FFU)

ファンフィルターユニット(FFU)

NFUZD-10H

ファンフィルターユニット(FFU)

使用例(クリーンブース)

FFUとは室内の天井に設置し、清浄空気を吹き出してクリーンな環境を作る装置です。

  • 薄型・軽量のため、設置スペースが少ない場合に最適です。
  • フリー電源(AC100~240V単相電源)に対応しているため、電源確保が容易です。
  • 異常検知信号の取り出しが可能です。

仕様

型番 処理風量(m³/min) 外形寸法(mm)
NFUZD-01H 1.6 W250×D250×H115
NFUZD-03H 3.4 W350×D350×H122
NFUZD-06H 6.1 W500×D500×H145
NFUZD-10H 10.8 W610×D610×H145
NFUZD-15H 15.0 W915×D610×H152
NFUZD-20H 24.3 W1220×D610×H145

構成

プレフィルター:不織布、メインフィルター:HEPA(ULPAにも変更が可能です)
本体:ステンレス仕様
ファン:DC静音ブロア(NFUZD-01HのみDC軸流ファン

捕集効率

99.97%以上(0.3µm以上の粒子にて)

電源

AC100~240V(50/60Hz)

簡易クリーンブース

簡易クリーンブース

パネル式タイプ、エアシャワー、バスボックス付きタイプなどの対応もできます。

簡易クリーンブース

NCRZD-2020H-7

簡易クリーンブースとは、局所作業環境の清浄化を目的に開発された一方向流のクリーンユニット(簡易型クリーンルーム)のことです。

  • 極力ムダなものを省きコストメリットを出しました。
  • 軽量で移動が簡単です。
  • 組立・設置が容易です。(2人で約1時間程度)
  • お求めのサイズ、クリーン度などにより特注対応が可能です。

仕様

型番 外形寸法(mm)
NCRZD-1005H-7 W1000×D500×H500
NCRZD-1515H-7 W1500×D1500×H2000
NCRZD-2020H-7 W2000×D2000×H2000
NCRZD-2525H-7 W2500×D2500×H2000

構成

フレーム:アルミフレーム
シート:静電気防止シート(ボックスタイプ、色透明、厚さ0.3mm)
スイッチボックス:コード5m(アース付)

清浄度クラス

ISO14644:7、Fed.std.209E:10000

電源

AC100~240V(50/60Hz)

簡易エアシャワー

簡易エアシャワー

NSZD-SS08

簡易クリーンブースへの取付が可能で、ユーザー様自身での組立が可能です。

  • ACターボファン搭載により、省スペースで強力なエアジェットを実現しました。
  • ユーザー様のニーズに応じて特注対応を迅速に行います。

仕様

型番/NSZD-SS08
外形寸法/W1060×D1000×H2058(mm)
質量/200kg 電源/AC100V(50/60Hz)
処理風量/7m³/min(片吹き)
吹出風速/18m/s以上
その他/アルミ製ハンガーノズル×8、押しボタンスイッチ

※通常型エアシャワー(NSZD-GT26/GS26(両吹き)、NSZD-PT16/PS16(片吹き)もございます)

パスボックス

パスボックス

NPBZD-444

クリーンルーム(ブース)への物品受渡し専用装置です。

  • 外気からの塵埃進入を防止します。
  • 扉インターロックを標準装備、またエアシャワー付タイプもございます。

仕様

型番 外形寸法(mm) 庫内寸法(mm) 扉ロック その他
NPBZD-444 W560×D400×H480 W400×D400×H400 機械式 オールステンレスタイプ(NPBZD-444S)もございます
NPBZD-765-J W860×D630×H1000 W700×D550×H600 電磁式 エアシャワー(風速16m/s、3面吹出)タイプです。

クリーンエア供給装置

FAZD-CA3

外部エアをブロアで吸入し、HEPAフィルターを通してクリーンエアを供給します。

  • 強い風量のクリーンエアを供給できます。
  • オールステンレス仕様のため錆に強く発塵がありません。
  • ガスフィルターの装着も可能で臭い成分、湿気の除去に役立ちます。

仕様

型番/FAZD-CA3
外形寸法/W300×D440×H395(mm)
電源/AC100~240V(50/60Hz)
処理風量・風速/3.6m³/min、13m/s

主な用途

クリーンベンチ、機械装置(半導体検査装置、洗浄装置)生産工程内のワーク内に接続

集塵機器

ヒューム吸煙装置

ヒューム吸煙装置

FAZD-Z01

ヒューム吸煙装置

FAZD-X01

フィルター

(上から)プレフィルター、準HEPAフィルター、活性炭フィルター

3層フィルター構造で、煙に含まれる有害成分を確実に除去します。

  • 高性能フィルター(準HEPA)により0.3µmまでの粒子を95%以上捕集します。
  • 活性炭フィルターにより消臭効果が期待できます。
  • フィルター交換は工具不要です。

仕様

型番 タイプ 処理風量(m³/min) 外形寸法(mm)
FAZD-Z01(-200) 縦置き 3.5 W350×D300×H470
FAZD-Y01(-200) 横置き 3.5 W450×D300×H400
FAZD-X01(-200) 縦置き 5.7 W350×D400×H665

電源/AC100V・AC200V(50/60Hz)
ダクト径/⌀75用

オプション

1. 硬質ダクト(2m)  2. ダクトバンド  3. 吸引フード  4. フットスイッチ  5. 速度制御  6. 差圧計  7. 分岐用天板  8. 排気用ダクト口⌀100(横置きのみ)  9. 外部操作用端子  10. 差圧信号  11. ファン異常検知

主な用途

ハンダ付作業、レーザーマーカー
その他一般集煙

クリーンルーム用集塵機

クリーンルーム用集塵機

FBZD-C03

クリーンルーム用集塵機

クリーンルーム内での集塵、集煙にご利用いただけます。

  • HEPAフィルターを通してクリーンな空気を排気します。
  • オールステンレス筐体で塗装剥がれなどがありません。
  • 風量調整、差圧計、各種通信信号取り出しなど便利なオプションが豊富です。

仕様

型番 処理風量(m³/min) 外形寸法(mm)
FBZD-C03 4.5 W350×D435×H411
FBZD-C06 6.0 W350×D535×H611

構成/プレフィルター→中性能フィルター→DC静音ブロア→HEPAフィルター
電源/AC100V~AC200V(50/60Hz)
ダクト径/⌀75用
オプション/上記ヒューム吸煙装置と同様です。

OEM製品受託製造

環境装置の総合メーカーとして各種OEM製品の受託製造、専用機の研究開発に対応します。

  • 技術データベースサイト iPROS
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